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Kapusta, Czesław
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Szkudlarek, Aleksandra
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Medizin, Technik, Ingenieurwissenschaften, Informatik
Technik, Ingenieurwissenschaften
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Lateral resolution in focused electron beam-induced deposition: scaling laws for pulsed and static exposure
Szkudlarek, Aleksandra
;
Szmyt, Wojciech
;
Kapusta, Czesław
;
Utke, Ivo
In: Applied Physics A, 2014, vol. 117, no. 4, p. 1715-1726
