Affiner les résultats
Type de document
Institution
Collection spécifique
Langue
- Anglais (1)
Auteur
- Gindrat, M. (1)
- Grange, D. (1)
- Guittienne, Ph (1)
- Hollenstein, Ch (1)
Mot clé
-
PECVD (1)
- coating (1)
- heat transfer (1)
- low pressure (1)
- plasma torch (1)
- thin film (1)