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Médecine, Technologie, Sciences de l'ingénieur, Informatique
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Changes in the etch rate of photosensitive polymers as a function of the pulse number
Dumont, T.
;
Lazare, S.
;
Lippert, T.
;
Wokaun, A.
In: Applied Physics A, 2004, vol. 79, no. 4-6, p. 1271-1274
