Ergebnisse einschränken
Dokumententyp
Institution
Spezialsammlung
Sprache
- Englisch (1)
Autor
- Gindrat, M. (1)
-
Grange, D. (1)
- Guittienne, Ph (1)
- Hollenstein, Ch (1)
Schlagwort
- PECVD (1)
- coating (1)
- heat transfer (1)
- low pressure (1)
- plasma torch (1)
- thin film (1)