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Document type
Institution
Collection spécifique
Lingua
- Inglese (2)
Autore
- Belgacem, Brahmin (1)
- Calame, F. (1)
- Calame, Florian (1)
- Muralt, P. (1)
- Muralt, Paul (1)
Domaine
Parola chiave
-
Micromachining (2)
- PZT (2)
- Thin films (2)
- MEMs (1)
- Piezoelecric (1)
- Piezoelectric (1)