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Dokumententyp
Institution
Spezialsammlung
Sprache
- Englisch (2)
Autor
- Belgacem, Brahmin (1)
- Calame, F. (1)
- Calame, Florian (1)
- Muralt, P. (1)
- Muralt, Paul (1)
Fachgebiet
Schlagwort
- Micromachining (2)
- PZT (2)
- Thin films (2)
- MEMs (1)
- Piezoelecric (1)
- Piezoelectric (1)