Faculté des sciences
Texte intégral

Interferometric fabrication of modulated submicrometer gratings in photoresist

Ehbets, Peter ; Herzig, Hans-Peter ; Nussbaum, Philippe ; Blattner, Peter ; Dändliker, René

In: Applied Optics, 1995, vol. 34, no. 14, p. 2540-2547

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    Title
    • Interferometric fabrication of modulated submicrometer gratings in photoresist
    Author
    • Ehbets, Peter. Institut de Microtechnique, Université de Neuchâtel, Switzerland
    • Herzig, Hans-Peter. Institut de Microtechnique, Université de Neuchâtel, Switzerland
    • Nussbaum, Philippe. Institut de Microtechnique, Université de Neuchâtel, Switzerland
    • Blattner, Peter. Institut de Microtechnique, Université de Neuchâtel, Switzerland
    • Dändliker, René. Institut de Microtechnique, Université de Neuchâtel, Switzerland
    Document Type
    • Postprint
    Publication Date
    • 1995
    OAI-PMH Identifier
    • oai:doc.rero.ch:20080213163818-JX
    Submission No.
    • 20080213163818-JX