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Comprehensive Comparison of Various Techniques for the Analysis of Elemental Distributions in Thin Films

Abou-Ras, D. ; Caballero, R. ; Fischer, C.-H ; Kaufmann, C.A. ; Lauermann, I. ; Mainz, R. ; Mönig, H. ; Schöpke, A. ; Stephan, C. ; Streeck, C. ; Schorr, S. ; Eicke, A. ; Döbeli, M. ; Gade, B. ; Hinrichs, J. ; Nunney, T. ; Dijkstra, H. ; Hoffmann, V. ; Klemm, D. ; Efimova, V. ; Bergmaier, A. ; Dollinger, G. ; Wirth, T. ; Unger, W. ; Rockett, A.A. ; Perez-Rodriguez, A. ; Alvarez-Garcia, J. ; Izquierdo-Roca, V. ; Schmid, T. ; Choi, P.-P ; Müller, M. ; Bertram, F. ; Christen, J. ; Khatri, H. ; Collins, R.W. ; Marsillac, S. ; Kötschau, I.

In: Microscopy and Microanalysis, 2011, vol. 17, no. 5, p. 728-751