Systèmes industriels - Systemtechnik

Source de plasma ponctuelle : travail de bachelor : diplôme 2016

Cordonier, Yohan ; Ellert, Christoph (Dir.)

Mémoire de bachelor : Haute Ecole d'Ingénierie, 2016.

De nos jours, les sources de plasma sont utilisées par de nombreuses technologies issues de la production industrielle, par exemple : pour la production de semi- conducteur, le traitement des matériaux, la découpe du verre ou la séparation des molécules composant un gaz. Le premier objectif de ce travail de diplôme est de designer et concevoir la mécanique d’un dispositif permettant... Plus

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    Résumé
    De nos jours, les sources de plasma sont utilisées par de nombreuses technologies issues de la production industrielle, par exemple : pour la production de semi- conducteur, le traitement des matériaux, la découpe du verre ou la séparation des molécules composant un gaz. Le premier objectif de ce travail de diplôme est de designer et concevoir la mécanique d’un dispositif permettant la génération de plasma dans une source ponctuelle. Pour ce projet, des trous submillimétriques sont utilisés comme source ponctuelle afin d’exploiter le principe de cathode creuse.